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36选7开奖结果:「MEMS解读」MEMS微制造工艺简介

? 2018年07月13日 14:40 ? 次阅读

新疆25选7走势 www.ve66b.cn 小型化是MEMS产品的突出特点,随着微系统技术的发展,一些MEMS器件的尺寸已进入亚微米级。这些微小尺寸的器件已非传统加工工艺所能完成。从而发展出一系列对这些器件的加工技术,即MEMS工艺或微系统加工工艺。

目前工业中应用的MEMS微机械加工技术包括:体硅微加工(Bulk Micromachining)、表面微加工(Surface Micromachining)、LIGA工艺(光刻、电铸和模造),三种工艺方法各有其优势和局限性。

1、体硅微加工

体硅微加工是一种通过各向异性或各向同性刻蚀衬底的方法在硅衬底上制造各种机械结构器件的技术。其特点是设备简单、投资少,但只能做形状简单的器件,深宽比小的器件。是通过对硅材料的腐蚀得到的,消耗硅材料较多(有时称作减法工艺),而且只能以硅材料为加工对象。图八是利用硅的各向异性刻蚀加工的硅质光实验台的扫描电镜图。

「MEMS解读」MEMS微制造工艺简介

2、表面微加工技术

表面微加工主要是靠在基底上逐层添加材料,通过用表面生长方法及光刻法在表面制造各种微型机械结构器件。在衬底顶面沉积和刻蚀如金属、多晶硅、氮化物、氧化物、有机材料等。通常使用的沉积技术是蒸镀、溅射、丝印、CVD(化学气相沉积)、电镀,等等,也使用干刻蚀和湿刻蚀技术。其特点是通过在硅材料上添加各种材料形成所希望的结构,可制作比较复杂的零件,但技术比较复杂,设备也比较昂贵。图九是表面微加工件示

「MEMS解读」MEMS微制造工艺简介

3、LIGA微细加工技术

LIGA加工是德语光刻(Lithographie)、电镀(也称电铸)(Galvanoformung)和压模(Abformung)的简称。LIGA技术可加工金属、塑料等非硅材料,同时可加工深宽比大的零件,这是体微加工和表面微加工难以做到的。但该工艺要通过同步加速器辐射装置产生的高能射线作为主要的加工方法,设备昂贵,投资大。

下图是一个LIGA工艺加工的例子。首先在一个金属底板上放置一层PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯,有机玻璃),然后在其上放置一块模板,在用同步加速器装置产生的高能射线来刻蚀PMMA,最后形成所需要的空腔,然后通过电度的方法把空腔填满,再脱去PMMA,即得到所需要的金属齿轮。

「MEMS解读」MEMS微制造工艺简介

MEMS器件和系统的封装和测试也是MEMS技术发展的重要方面,因为这部分技术复杂,其成本在整个MEMS器件或系统中有时占有很大比重。而且,基于MEMS器件的不同结构和功能,MEMS器件的封装具有多样性和复杂性,封装方法和质量对器件工作的可靠性影响重大。

例如,MEMS器件或系统内具有运动功能的部分必须保证可靠地工作,从外部获取信息的传感结构(如压力计、硅麦克风)需要长期稳定地工作,都与传统IC的封装有着巨大的差别。因此,新型封装技术在不断开发之中,例如采用晶圆级全硅封装技术,一次完成成千上万个器件的封装,可大幅度缩小体积、降低成本、提高器件或系统的可靠性。

由于MEMS器件结构和功能的多样性也决定了其测试的多样性。MEMS器件通常包含用于传感和执行的活动部件,需要进行动态参数的测量,例如微镜的稳定时间动态特性,传感器的位移幅度以及悬臂梁的谐振频率。这种情况下,除了一般电参数的测量,需要精密的、实时的以及高分辨率的无创性检测技术。

MEMS器件动态特性的光学测量就是一种有效的测试手段。先进的光学测量技术对MEMS器件在开发过程中了解其全视野动态响应,完成各种不同的物理特性的多种参数(尺寸、薄膜厚度、台阶高度、横截面、粗糙度、压力、静摩擦、弹性模量、响应时间、热膨胀、谐振频率,等等)的测量。

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过去十年,智能手机快速增长,尤其是在近两年极大地带动了MEMS市场的发展,但是随着智能手机市场走向饱...

发表于 2018-05-21 09:08 ? 132次阅读
智能手机市场走向饱和,MEMS的下一个增长点在哪...

MEMS和物联网的应用:智慧农业MEMS技术

智慧农业MEMS技术真是农场主的“神算子”吗? 农业应用所需的测量和传感大部分依靠微机电系统(MEM...

发表于 2018-05-20 00:24 ? 1276次阅读
MEMS和物联网的应用:智慧农业MEMS技术

讨论低噪声、低功耗加速度计ADXL355的振动校...

MEMS加速度计中的振动校正是如何发生的?振动校正需要知道哪些参数?

发表于 2018-05-19 08:59 ? 1129次阅读
讨论低噪声、低功耗加速度计ADXL355的振动校...

1997-2017年全球MEMS传感器专利分析

未来MEMS传感器将是物联网、智能制造、智能机器人、智慧医疗及无人驾驶等领域实现的重要条件,随着下游...

发表于 2018-05-18 11:40 ? 1163次阅读
1997-2017年全球MEMS传感器专利分析

智能手机增长停滞 MEMS聚焦工业物联网新战略

据麦姆斯咨询报道,意法半导体宣布以十年长生命周期承诺的系列高精度MEMS传感器和元件,满足先进的自动...

发表于 2018-05-18 11:27 ? 1103次阅读
智能手机增长停滞 MEMS聚焦工业物联网新战略

MEMS制造工艺集成困难?如何打造匹配并互补的生...

MEMS产业增长潜力巨大,而MEMS制造是产业持续发展的瓶颈还是将潜力兑现成现实的关键路径?据麦姆...

发表于 2018-05-17 11:23 ? 462次阅读
MEMS制造工艺集成困难?如何打造匹配并互补的生...

MEMS传感器在穿戴产品市场的前景

在今天的穿戴产品市场上, 传感器厂商很快意识到, 只提供传感器硬件解决方案不足以扩大市场份额。为区别...

发表于 2018-05-15 17:18 ? 1092次阅读
MEMS传感器在穿戴产品市场的前景

技术趋势:汽车电气化将改变压力传感器市场

MEMS压力传感器技术现在已经很成熟,基本可以分为压阻式和电容式两类。这两种技术没有很大的区别。目前...

发表于 2018-05-15 17:15 ? 734次阅读
技术趋势:汽车电气化将改变压力传感器市场

MEMS压力传感器市场分析和技术趋势

汽车产业是MEMS压力传感器历史最悠久也是最大的市场。其中,动力传动系统应用占比超过50%,其次是安...

发表于 2018-05-15 10:27 ? 1140次阅读
MEMS压力传感器市场分析和技术趋势

一文读懂量子传感器应用前景

低成本MEMS装置也在构想之中,预计它将会只有网球大小,敏感程度要比在智能手机中使用的运动传感器高一...

发表于 2018-05-15 09:46 ? 3404次阅读
一文读懂量子传感器应用前景

基于MEMS投影显示技术的几个创新型应用示例

想象一下,夹在汽车遮阳板上的选装抬头显示器 (HUD) 将驾驶指令投射到你的风挡玻璃上。再想象一台具...

发表于 2018-05-15 09:12 ? 991次阅读
基于MEMS投影显示技术的几个创新型应用示例

MEMS振动监控:从加速度到速度

发表于 2017-08-16 09:06 ? 1432次阅读
MEMS振动监控:从加速度到速度

利用MEMS陀螺仪实现低噪声反馈控制设计

发表于 2017-08-12 15:38 ? 1270次阅读
利用MEMS陀螺仪实现低噪声反馈控制设计

最新 MEMS 惯性??槿绾伟镏朔τ每⑻粽?/a>

发表于 2017-03-31 12:31 ? 1544次阅读
最新 MEMS 惯性??槿绾伟镏朔τ每⑻粽? /></a>
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有关MEMS传感器ADXL327在外部加放大电路的问题

发表于 2017-01-18 12:07 ? 1405次阅读
有关MEMS传感器ADXL327在外部加放大电路的问题

五个著名车用传感器厂商

发表于 2016-12-12 15:47 ? 1705次阅读
五个著名车用传感器厂商

MEMS传感器是什么?mems的工艺是什么?

发表于 2016-12-09 17:46 ? 1805次阅读
MEMS传感器是什么?mems的工艺是什么?

中国资本秀“肌肉” 拟收购美国MEMS公司

发表于 2016-07-27 17:03 ? 1620次阅读
中国资本秀“肌肉” 拟收购美国MEMS公司

军用标准倾角传感器

发表于 2016-01-12 16:11 ? 1143次阅读
军用标准倾角传感器

MEMS技术:面向21世纪的关键技术 --新兴趋势和经济机会

发表于 2015-09-25 10:22 ? 3034次阅读
MEMS技术:面向21世纪的关键技术   --新兴趋势和经济机会

基于MEMS开发一个伺服控制软件,招聘合作伙伴

发表于 2014-12-15 18:43 ? 2241次阅读
基于MEMS开发一个伺服控制软件,招聘合作伙伴
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